翼菲科技午后大涨逾14% 公司近日推出Lobster系列晶圆机器人

机热在线精品视频翼菲科技（06871）午后股价拉升，现涨14.23%，报21.60港元，成交额2854.39万港元。 近日，据翼菲科技官微消息，翼菲科技推出Lobster系列晶圆机器人，覆盖4/6/8/12寸晶圆传输场景，可广泛应用于晶圆上下料、工艺设备对接、洁净搬运等关键环节。该系列产品依托公司自研运动控制系统、精密机械结构及多类型末端执行方案，实现0.1mm级高精度定位，兼顾高速、稳定、洁净与柔性适配能力。此外，翼菲科技晶圆机器人已通过德国TÜV莱茵SEMI S2/S8/F47权威认证，其中RW-A型号达到ISO 1级超洁净度。 目前，翼菲科技相关半导体自动化装备已服务中芯国际等头部晶圆厂，并进入至纯科技等产业链核心客户体系，同时深度配套多家国产半导体设备龙头：为芯源微供应寻边器、为邑文配套ALD倒片机、向比亚迪交付晶圆机械手、为迈为提供EFEM设备，上述合作客户均已形成稳定复购，产品覆盖晶圆搬运、上下料、洁净检测、光刻配套等多个应用场景。 © 1996-2026 SINA Corporation。

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